日本TLV公司生產(chǎn)的檢漏儀是專門用于半導(dǎo)體真空腔體檢測的高精度設(shè)備。在半導(dǎo)體制造過程中,真空腔體的密封性至關(guān)重要,因為任何微小的泄漏都可能導(dǎo)致工藝失敗、設(shè)備損壞甚至安全事故。TLV檢漏儀以其高靈敏度、高精度和可靠性,被譽為半導(dǎo)體真空腔體的“安全衛(wèi)士"。以下是關(guān)于日本TLV檢漏儀的詳細介紹:
一、產(chǎn)品概述
二、主要特點
高靈敏度
高精度
快速響應(yīng)
用戶友好
數(shù)據(jù)管理
數(shù)據(jù)記錄:設(shè)備內(nèi)置數(shù)據(jù)記錄功能,可存儲大量的檢測數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)輸出:支持USB、LAN等多種數(shù)據(jù)輸出方式,方便用戶將數(shù)據(jù)導(dǎo)入計算機進行分析。
數(shù)據(jù)分析:配備專業(yè)的數(shù)據(jù)分析軟件,可對檢測數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析,生成報表。
三、技術(shù)參數(shù)
檢測范圍:
檢測精度:
響應(yīng)時間:小于1秒
傳感器類型:高靈敏度氦氣傳感器
數(shù)據(jù)存儲:內(nèi)置大容量存儲器,可存儲數(shù)月的數(shù)據(jù)
數(shù)據(jù)輸出:USB、LAN、RS-232C等多種接口
環(huán)境要求:
溫度:0°C至50°C
濕度:0%至95% RH(無凝結(jié))
電源要求:AC 100V-240V,50/60Hz,功率約150W
尺寸與重量:
四、應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造
真空設(shè)備制造
科研機構(gòu)
五、操作流程
開機準備
設(shè)備連接
將待檢測的真空腔體連接到檢漏儀的檢測接口。
確保連接處密封良好,無泄漏。
自動檢測
數(shù)據(jù)輸出
設(shè)備維護
六、優(yōu)勢與價值
高靈敏度:能夠檢測到極小的泄漏,確保真空系統(tǒng)的密封性和安全性。
高精度:采用先進的傳感器技術(shù)和信號處理算法,確保測量結(jié)果的高精度和高重復(fù)性。
快速響應(yīng):快速檢測和實時監(jiān)測,便于及時發(fā)現(xiàn)泄漏并采取措施。
用戶友好:操作簡便,內(nèi)置自動校準功能,確保測量精度。
數(shù)據(jù)管理:支持數(shù)據(jù)記錄、存儲和輸出,方便用戶進行數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。
可靠性:設(shè)備設(shè)計精良,穩(wěn)定性高,使用壽命長。